臭氧發生器在產生臭氧的過程中，會產生熱量，使機器內部的溫度升高。而較高的溫度會分解臭氧，促使臭氧還原成氧氣，降低臭氧的發生量。所以，在生成臭氧的過程中，必須對臭氧發生器進行冷卻，才能穩定并提高臭氧的發生量。

　　在設計和使用工業臭氧發生器的過程中，必須遵循相關規則，才能獲得高產量的臭氧，才能保障臭氧發生器正常運行。工業臭氧發生器的使用要點：

　　臭氧發生器內的氣體中不可含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應的物質，這些物質會對臭氧發生器產生損害，且可能引發爆炸等安全事故。

　　在設計水冷臭氧發生器時，要防止大量水進入發生器內部的可能性。如果水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，誰都會進入臭氧發生器電暈室內，繼而導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，導致介電體過早失效。

　　合理控制供氣壓力的變化。氣壓會影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化將導致發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍，會導致熔斷器或自動斷電器斷開。如果超出外加電壓峰值，還將造成介電體過早失效。

　　按照冷卻方式的不同，臭氧發生器可分為多種，水冷臭氧發生器是其中之一。工業臭氧發生器的臭氧發生量較大，一般為大型臭氧發生器，這種發生器多用水進行冷卻。臭氧發生器的冷卻方式包括風冷、水冷、油冷。工業臭氧發生器多為大型臭氧發生器，常用水冷方式進行冷卻。